半導體制造業可以說是現代電子工業的核心產業，廣泛應用于計算機、通信、汽車、醫療等領域。而在半導體生產加工過程中，如刻蝕、 鍍膜、 擴散、沉積、退火等環節，真空泵都是必不可少的關鍵設備，它可以構建穩定受控的真空環境，以避免產品出現污染、氧化或者其他缺陷，對于半導體產品的品質、壽命以及性能都有著不可忽視的影響。
為保證真空泵系統安全穩定運行，物通博聯提供基于工業智能網關的數據采集遠程監控系統，實現真空泵運行狀態及工藝參數的在線監控與預警，從而幫助工廠及時采取措施，保證生產安全與產品質量。
數據采集困難：真空泵通常分布在生產現場或遠程地點，傳統的手動采集數據方式需要人工去現場抄寫數據，工作量大，因此需要數據采集實現遠程監控。
故障發現慢：真空泵運行出現故障無法及時感知，一旦出現故障就會影響生產的穩定性和安全性，同時造成物料浪費，因此需要故障預警報警機制。
數據應用難題：真空泵產生的數據包括壓強、溫度、振動等多種參數，需要進行實時處理和分析，需要數據報表及展示分析渠道，實現提質增效、節能優化等。
半導體工業正在逐步實現自動化生產，真空泵系統通過PLC自動化控制已經得到廣泛應用，因此只需要將物通博聯工業智能網關接入到PLC，就能實時采集PLC內真空泵的工作參數（壓強、溫度、振動等）并通過5G/4G/WIFI/以太網等方式上傳到云平臺或本地上位機，進而實現設備遠程監控、故障報警、遠程控制及遠程維護等功能。
通過手機端和電腦端，工廠可以遠程查看工藝組態畫面，了解每臺真空泵的運行狀態、工藝參數、故障信息、運維記錄等，從而實現及時管理控制，維護安全穩定的生產秩序。
拓撲圖
通過物通博聯網關可以實時采集真空泵的運行狀態數據，如壓強、溫度、振動等，并將這些數據上傳平臺生成可視化圖表，方便快速查詢實時數據和歷史數據。
系統可以自定義云組態，通過監控真空泵系統工藝流程，在線查看每臺真空泵工作狀態和參數變化，支持自定義編輯，通過拖拉拽添加/刪除控件，操作簡單易懂。
通過手機或電腦等智能終端，讓用戶可以隨時隨地查看真空泵的實時運行狀態和歷史數據，和遠程控制設備啟停，調節設備參數，提高了設備的管理效率和生產效益。
故障報警
通過設置報警閾值，當真空泵出現異常情況時，系統會自動報警并記錄異常信息，自動通過微信、短信、郵箱等方式通知管理運維人員，便于用戶快速發現并解決問題，減少生產損失與物料浪費。
通過物通博聯設備維護快線，工程師可以對異地PLC進行遠程編程調試和遠程上下載程序等操作，減少出差和花銷，提高工作效率和售后服務質量。
根據采集到的數據進行分析和處理，可以了解設備性能、能耗水平，也能預測可能出現的問題，采取措施進行管理優化，提高生產效率。
物通博聯真空泵系統數據采集遠程監控解決方案，通過對真空泵系統的實時監控和故障報警，實現對半導體芯片生成過程的真空環境進行精細控制，保證過程中的參數穩定正常，能夠保證企業提高設備效率和可靠性，減少停工和維護時間，為企業帶來更多的經濟效益。
智能工廠是在數字化工廠的基礎上，以實現生產過程和經營業務最優化為目的，利用物聯網技術和監控技術加強信息管理服務，提高生產過程可控性、減少生產線人工干預，合理計劃排程，實現信息統一，集團化統一監控，實現產品生命周期和備品備件管理，提升制造工廠的智能化程度，降低運行維護成本，促進企業產業升級。了解更多>設備互通互聯設備數據采集設備數據標準化設備遠程運營維護產線數據可視化產線數據分析
